磷烷
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子注入等工序
產(chǎn)品中文名：磷烷
產(chǎn)品英文名：Phosphine
化學(xué)式：PH3
CAS號：7803-51-2
UN 號：2199
純度：99.9999%
閥門型號：DISS632
服務(wù)熱線
18837932833
18837932833/15893900103
18837932833/15893900103
磷烷
產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子注入等工序
產(chǎn)品中文名：磷烷
產(chǎn)品英文名：Phosphine
化學(xué)式：PH3
CAS號：7803-51-2
UN 號：2199
純度：99.9999%
閥門型號：DISS632