產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子注入等工序

產(chǎn)品中文名：磷烷

產(chǎn)品英文名：Phosphine

化學(xué)式：PH3

CAS號(hào)：7803-51-2

UN 號(hào)：2199

純度：99.9999%

閥門(mén)型號(hào)：DISS632